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可自動掃描等離子表面處理儀--GSL1100XPJF-A
簡要描述：

GSL-1100X-PJF-A是等離子槍和可控制的樣品臺結(jié)合在一起的產(chǎn)品，有自動控制的樣品臺，就可使等離子槍按設(shè)定程序?qū)悠繁砻孢M(jìn)行更均勻涂覆和處理，保證處理樣品表面的*性和均勻性。此系統(tǒng)是由RF發(fā)生器、氣體傳輸管、等離子槍頭和X-Y移動的工作臺（帶有真空吸盤和控制盒）。此系統(tǒng)產(chǎn)生等離子束可在非真空和低溫狀態(tài)下活化和清洗樣品表面，可處理的樣品有單晶片，光學(xué)元件和塑料等，也可在常壓下進(jìn)行等離子

  • 產(chǎn)品型號：GSL1100XPJF-A
  • 廠商性質(zhì)：代理商
  • 更新時間：2024-08-17
  • 訪  問  量：2590

詳細(xì)介紹

GSL-1100X-PJF-A是等離子槍和可控制的樣品臺結(jié)合在一起的產(chǎn)品，有自動控制的樣品臺，就可使等離子槍按設(shè)定程序?qū)悠繁砻孢M(jìn)行更均勻涂覆和處理，保證處理樣品表面的*性和均勻性。此系統(tǒng)是由RF發(fā)生器、氣體傳輸管、等離子槍頭和X-Y移動的工作臺（帶有真空吸盤和控制盒）。此系統(tǒng)產(chǎn)生等離子束可在非真空和低溫狀態(tài)下活化和清洗樣品表面，可處理的樣品有單晶片，光學(xué)元件和塑料等，也可在常壓下進(jìn)行等離子增強(qiáng)氣相沉積。

 

技術(shù)參數(shù)

  輸入電源

208 V- 240VAC, 50/60 Hz, < 1000W

  RF發(fā)生器

  • 輸出頻率：20-23kHz , 25KV
  • 等離子槍頭：儀器中包括兩種等離子槍頭：圓形頭：10-12mm，矩形頭：15-18mm  

  輸入氣體氣壓，   工作氣體

  • 40 PSI min.(0.055 Mpa)
  • Air, N2, Ar, He 或混合氣體(不可通入易燃易爆氣體 )

等離子體工作壓力

7- 10 PSI

  工作環(huán)境

溫度 < 42°C，濕度 ≤ 40℃RH

  樣品臺和控制柜

  • 配有可在X-Y軸移動的樣品臺，通過步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動，采用SBC控制盒控制
  • 可手動調(diào)節(jié)樣品臺在Z軸方向上的移動距離
  • 控制盒采用LCD顯示，可設(shè)置其等離子槍頭的掃描程序。
  • 大掃描范圍：8" x 9"
  • 一個直徑為4"的真空吸盤安裝在X-Y樣品臺上，可吸住直徑為6"的樣品。
  • 配有一真空泵，可與真空吸盤相連接
  • 整個系統(tǒng)安裝在一移動架上（600x600x 800Lmm）
  • 可選：可選加熱樣品臺（高溫度可加熱到500℃),也可將設(shè)備放置在手套箱中操作。

  尺寸&重量

  • 處理樣品臺尺寸：560mm L x483mm W x 609mm H
  • 等離子源尺寸: 406mm L x 508mm W x 230mm H
  • 控制盒尺寸：330mm L x 305mm W x 152mm H
  • 重量：55kg
  

  質(zhì)保&質(zhì)量認(rèn)證

一年質(zhì)保期，終生維護(hù)

CE認(rèn)證

 

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