国产日韩精品无码区免费专区国产,亚洲精品视频在线观看,91精选,亚洲欧洲无码一区二区三区

Product Center

產(chǎn)品中心

當(dāng)前位置:首頁  >  產(chǎn)品中心  >  CVD氣相沉積  >  等離子體增強(qiáng)CVD管爐  >  PECVD等離子體增強(qiáng)氣相沉積

PECVD等離子體增強(qiáng)氣相沉積
簡要描述:

PECVD等離子體增強(qiáng)氣相沉積是一款1200℃等離子增強(qiáng)混合物理化學(xué)氣相沉積(HPCVD)雙溫區(qū)回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)源(帶自動匹配功能)、上游原位蒸發(fā)舟、4通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)及性能優(yōu)異的真空泵組成。此于無機(jī)復(fù)合粉末的熱處理及粉末表面的均勻包覆(如:制備鋰離子電池陰極粉末的導(dǎo)電涂層等)。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2024-08-29
  • 訪  問  量:479

詳細(xì)介紹

    PECVD等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積是一種利用等離子體來促進(jìn)氣體反應(yīng)的CVD技術(shù)。其特點(diǎn)包括:

    1、低溫沉積:PECVD可以在較低的基材溫度下進(jìn)行,因?yàn)榈入x子體提供的能量能夠促進(jìn)氣體反應(yīng),降低沉積溫度的需求。

    2、高沉積速率:等離子體增強(qiáng)了氣體反應(yīng)速率,從而提高了薄膜沉積速率。

    3、良好的膜質(zhì)量:PECVD沉積的薄膜通常具有較好的均勻性和較低的缺陷密度,適用于需要高質(zhì)量薄膜的應(yīng)用。

    4、適應(yīng)性強(qiáng):可以沉積多種材料,包括氧化物、氮化物和氟化物等,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電器件和保護(hù)涂層等領(lǐng)域。

    5、控制性好:通過調(diào)整等離子體的參數(shù)(如功率、氣體流量和壓力),可以精確控制薄膜的成分和性質(zhì)。

    加熱爐參數(shù)

    ?最高溫度:1200ºC(<30min),連續(xù)工作溫度:1100℃;

    ?兩個(gè)PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng);

    ?輸入功率:208-240V,單相,最大功率:2.5KW;

    ?高純氧化鋁纖維保溫層可以最大限度降低能耗;

    ?回轉(zhuǎn)爐旋轉(zhuǎn)速度:2-10rpm;

    ?爐體開啟式設(shè)計(jì),以達(dá)到對樣品快速降溫,方便更換爐管。

產(chǎn)品咨詢

留言框

  • 產(chǎn)品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯(lián)系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細(xì)地址:

  • 補(bǔ)充說明:

  • 驗(yàn)證碼:

    請輸入計(jì)算結(jié)果(填寫阿拉伯?dāng)?shù)字),如:三加四=7
021-54338590
歡迎您的咨詢
我們將竭盡全力為您用心服務(wù)
66697150
關(guān)注公眾號
版權(quán)所有 © 2024 上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司  備案號:滬ICP備14051797號-1

TEL:021-54338590

關(guān)注公眾號

日韩精品无码免费视频网站| 欧韩精品一区二区| 久久精品国产99久久| 国产激情久久思思热| 色爱a v| 亚欧喷水视频在线播放| 夜夜一区二区| 国产精品久久精品日日| 欧美日韩九九| 亚洲无码在线碰人妻| 蜜臀AV网| 亚洲中文666| 韩国三级日本三级国产三级久久| 亚洲、另类、精品| 边做饭边被躁欧美三级| 伊人久久噜噜噜| 中文字幕内射无码制服剧情| 五月丁香社区成人| 精品偷自拍另类在线观看| 成人专区爽| 2021亚洲国产成a在线| 成年片一区| 欧美猛交| 久久精品久久9| 在线caobav青草| 蜜桃97夜夜做| 亚洲五月丁香视屏| 国产乱对白刺激视频| 东京热人妻免费看| 性欧美熟妇乱| 一个人看的A级毛片| 国产精品我不卡| 最新综合色址| 国产精品视频二区不卡| 丁香五月首页| 日本高清在线一区二区三区| 超碰人人强人人爱| 精品国产AV色一区二区深夜久久| 中文欧美国产精品| 九九热精品| 精品精品视频|