5英寸近距離蒸發(fā)鍍膜爐技術(shù)參數(shù):
爐體結(jié)構(gòu)和真空腔體 | |
真空法蘭
| 真空法蘭為316不銹鋼制作 頂部法蘭上有一KF25接口,可以與真空泵相連接,另外安裝有兩個(gè)1/4" 軟管接頭的出氣口 底部法蘭上有一KF25接口,可以與真空泵相連接,另外安裝有兩個(gè)1/4" 軟管接頭的進(jìn)氣口 法蘭是通過(guò)兩個(gè)硅膠O型圈進(jìn)行密封,體內(nèi)真空度可達(dá)10-2 torr.
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加熱元件和載樣臺(tái) | 由兩組紅外燈管作為加熱元件,分別位于頂部和底部 兩個(gè)加熱臺(tái)之間的距離可以通過(guò)直流電機(jī)調(diào)節(jié),調(diào)節(jié)范圍為:2-50mm 為了減少熱量輻射和達(dá)到較快的冷卻速率,加熱元件安裝在帶有水冷夾層的不銹鋼殼體中,(不銹鋼殼體采用316不銹鋼制作) 采用導(dǎo)熱率較高的氮化鋁陶瓷片(5"×5"×0.5mm厚度)作為載樣臺(tái),以達(dá)到較好的加熱均勻性 底部載樣臺(tái)上可放入5"x5"的石墨坩堝來(lái)盛放蒸發(fā)原料 此款儀器使用時(shí)需要配用一循環(huán)水冷機(jī)(16L/m)
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溫控系統(tǒng)
| 兩個(gè)精密的溫控系統(tǒng)分別獨(dú)立控制上下兩個(gè)加熱區(qū),可設(shè)置30段升降溫程序 每個(gè)溫控系統(tǒng)都帶有超溫和斷偶保護(hù) PC通訊接口,軟件可安裝,可將控溫程序和溫度曲線導(dǎo)入到電腦中 控溫儀表操作視頻
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工作溫度 | 高工作溫度為:800℃ 兩個(gè)加熱區(qū)之間的大溫差為300℃
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加熱和冷卻速率 | |
熱電偶 | 兩個(gè)K型熱電偶,安裝在頂部和底部,都與氮化鋁陶瓷片相接觸 |
工作電壓 | 208 - 240VAC, 單相,(需要20A的空氣開關(guān)) |
功率 | 3000W |
可選 | 實(shí)驗(yàn)時(shí)需要一個(gè)真空泵,可與本公司選購(gòu)真空泵 采用機(jī)械泵可使腔體內(nèi)的真空度達(dá)到< = 10E-2 torr 若要使真空腔體內(nèi)達(dá)到更潔凈的工作環(huán)境,可換購(gòu)無(wú)油泵 也可選購(gòu)質(zhì)子流量計(jì)混氣系統(tǒng),將實(shí)驗(yàn)所需氣體安比列混好后導(dǎo)入到真空腔體中
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質(zhì)保 | 一年質(zhì)保期,終生維護(hù)(不包括密封圈、加熱元件和石英管) |