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  • OTF-1200X-50-4CLV-PE4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng)

    為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行,利用了等離子體的活性來(lái)促進(jìn)反應(yīng),因而這種CVD稱(chēng)為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法(PECVD),內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命。

    更新日期:2025-02-12
    型號(hào):OTF-1200X-50-4CLV-PE
    廠商性質(zhì):代理商
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