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小型-等離子清洗機
簡要描述:

PCE-6小型等離子清洗機的等離子腔體為 Ø160mm×190mm的石英腔體,采用的射頻電源功率為3.0MHz(1%),輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時也可改變物體表面的性質(如親水和疏水性等),對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設備。PCE-6小型等離子清洗機體積小,占用的空間少,

  • 產(chǎn)品型號:PCE-6
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2025-02-12
  • 訪  問  量:2619

詳細介紹

品牌其他品牌儀器種類通用型
價格區(qū)間面議產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應用領域醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子
    PCE-6小型等離子清洗機的等離子腔體為Ø160mm×190mm的石英腔體,采用的射頻電源功率為3.0MHz(1%),輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時也可改變物體表面的性質(如親水和疏水性等),對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設備。PCE-6小型等離子清洗機體積小,占用的空間少,可有效節(jié)約實驗室空間。PCE-6小型等離子清洗機配有一個雙旋真空泵,可對腔體進行抽真空,同時通入氬氣等氣體,適用于對易氧化的物品的清洗。1、通過控制面板的按鍵及開關,可控制調節(jié)射頻功率、真空泵的開閉、清洗時間。

    2、時間、功率、真空度等信息顯示在一組4位數(shù)碼管上。

    3、設有一個三通閥,可精確控制進氣流量,以及大氣流清洗腔體,進氣接口為6mm卡套接口。

    4、選用大功率射頻電源設備可進行等離子刻蝕和等離子灰化實驗。

產(chǎn)品名稱 PCE-6小型等離子清洗機
產(chǎn)品型號 PCE-6
主要參數(shù) 1、電源:AC220V  50/60Hz
2、輸出功率:7.2W、10.2W、29.6W
3、真空泵功率:<500W
4、總功率:<600W
5、射頻頻率:3.0MHz,功率3檔可手動調節(jié)
6、等離子腔體:高純石英腔體Ø160mm×190mm,采用鋁制折疊式法蘭進行密封,法蘭上設有Ø45mm的觀察窗
7、真空泵:120L/min,直連式雙旋真空泵
8、極限真空度:50mtorr
9、通入氣體:可通入多種氣體來產(chǎn)生等離子,如N2、Ar、H2、O2、Air和混合氣體等(根據(jù)材料性質選定)
清洗及蝕刻
產(chǎn)品規(guī)格 尺寸:400mm×300mm×300mm
重量:10.2kg
可選配件 1、2"-6"石英舟(盛放基片)
2、2-4通道質子或浮子混氣系統(tǒng)

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