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1200℃三溫區(qū)PE粉體回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)
簡要描述:

OTF-1200X-III-R5-PECVD是一款1200℃等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積三溫區(qū)回轉(zhuǎn)管式爐系統(tǒng)(R-PECVD),等離子增強(qiáng)系統(tǒng)的引入可在相對較低的溫度下實現(xiàn)粉末表面的包覆復(fù)合、核殼結(jié)構(gòu)制備等工藝過程。自動進(jìn)出料系統(tǒng)可實現(xiàn)連續(xù)生產(chǎn),可保證在氣氛保護(hù)環(huán)境下進(jìn)行粉體的進(jìn)給和收集,包含射頻電源(帶自動匹配功能)、四通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)及真空泵系統(tǒng),可由PLC觸摸屏或PC電腦控制,使用方便快捷。

  • 產(chǎn)品型號:OTF-1200X-Ⅲ-R5-PECVD
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時間:2025-02-12
  • 訪  問  量:2475

詳細(xì)介紹

產(chǎn)地類別國產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域化工,能源,電子
加熱爐參數(shù):最高溫度:1200℃(<30min);連續(xù)工作溫度:1100℃;
    產(chǎn)品特點:

    •爐體在0-25°內(nèi)傾斜,有利于粉末樣品的裝卸;

    •齒輪驅(qū)動管式爐旋轉(zhuǎn)可有效地提高復(fù)合粉末熱處理的均勻性;

    •四通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)可以對氣體的輸送進(jìn)行精確的調(diào)控;

    •配備自動進(jìn)出料系統(tǒng)可實現(xiàn)連續(xù)生產(chǎn),可保證在氣氛保護(hù)環(huán)境下進(jìn)行粉體的進(jìn)給和收集。

    加熱爐參數(shù):

    三溫區(qū)回轉(zhuǎn)爐

    •最高溫度:1200℃(<30min);連續(xù)工作溫度:1100℃;

    •三個PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng),控溫精度:±1℃;

    •輸入功率:208-240V,單相,最大功率:4KW;

    •高純氧化鋁纖維保溫層可以最大限度降低能耗;

    •回轉(zhuǎn)爐旋轉(zhuǎn)速度:2-10rpm;

    •爐體開啟式設(shè)計以達(dá)到對樣品快速降溫,方便更換爐管。

    射頻電源:

 
image.png 
    真空系統(tǒng):

    •·采用TRP-12的雙旋真空泵;

    •KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵;

    •真空度可達(dá)10-2Torr。

    供氣系統(tǒng)(可選):

    •客戶可選購四通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)實現(xiàn)氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%);

    •流量范圍:

image.png
    •電壓:208-240V,AC,50/60Hz;

    •氣體進(jìn)出口配件:6mmOD的聚四氟管或不銹鋼管;

    •不銹鋼針閥用于手動控制氣體進(jìn)出;

    •PLC觸摸屏可以簡便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置。

    產(chǎn)品尺寸和重量:

    •設(shè)備尺寸:2800mmL'800mmW'1700mmH

    •供氣系統(tǒng):600mmL'700mmW'700mmH

    •凈重:180kg

    承諾:

    一年保質(zhì)期,終身維護(hù),不包括爐管,硅膠密封圈和加熱元件


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