OTF-1200X-S-II-R-4CV-PE是一款1200℃PECVD等離子體增強氣相沉積由射頻電源、雙溫區(qū)管式爐、4通道質子流量計控制系統(tǒng)、性能優(yōu)異的真空泵及水冷機組成。此套完整的設備系統(tǒng)特別適合用于無機復合粉末的熱處理以及粉未表面的改性處理工藝中（如：粉體摻雜（空穴、間隙原子）、表面改性、表面包覆及制備鋰離子電池陰極粉末的導電涂層等）。

產品型號：OTF-1200X-S-Ⅱ-R-4CV-PE
廠商性質：代理商
更新時間：2024-08-19
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產品分類CLASSIFICATION

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操作PECVD等離子體增強氣相沉積設備的安全指南

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詳細介紹

品牌	其他品牌	產地類別	國產
應用領域	化工,能源,電子	輸入電壓	AC208-220V， 50/60Hz

    1200℃等離子增強小型PECVD回轉爐系統(tǒng)產品特點：

    1、射頻電源可實現(xiàn)等離子增強從而顯著降低實驗溫度；

    2、齒輪驅動管式爐旋轉可有效地提高復合粉末熱處理的均勻性;

    3、4通道質子流量計控制系統(tǒng)可以對氣體的輸送進行精確的調控;

    4、爐體開啟式設計，以達到對樣品快速降溫，方便更換爐管。

    1200℃等離子增強小型PECVD回轉爐系統(tǒng)參數(shù)：

    工作電源：

    •輸入電壓：AC208-220V，50/60Hz

    •總功率：<4KW

    加熱爐參數(shù)：

    •最高溫度：1100℃(<30min)；連續(xù)工作溫度：1000℃;

    •兩個PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)，控溫精度：±1℃;

    •工作電壓：110V；

    •額定功率：1.5KW；

    •回轉爐旋轉速度：0-5rpm。

    射頻電源：

    真空系統(tǒng)：

    •·采用TRP-12的雙旋真空泵；

    •KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵；

    •真空度可達10-2Torr。

    供氣系統(tǒng)(可選)：

    •客戶可選購四通道質子流量計控制系統(tǒng)實現(xiàn)氣體流量的精確控制(精確度：±0.02%);

    •流量范圍：

    •電壓：208-240V，AC，50/60Hz；

    •氣體進出口配件：6mmOD的聚四氟管或不銹鋼管;

    •不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出

    •PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設置

    循環(huán)水冷機：

    標配KJ-5000循環(huán)水冷機，水流速率：16L/min

    產品尺寸和重量：

    尺寸：1400mmL-600mmW-1240mmH

    凈重：90Kg

    承諾：

    一年保質期，終身維護，不包括爐管，硅膠密封圈和加熱元件

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