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雙爐體滑動PECVD系統(tǒng)-循環(huán)手套箱
簡要描述：

OTF-1200X-PESDFG-50是一款雙爐體滑動的PECVD系統(tǒng)，連接循環(huán)手套箱。此款設備中石英爐管與循環(huán)手套箱連接，可利用CVD方法，將樣品處理后直接移入到氣氛保護環(huán)境下的手套箱中。爐體采用滑動式，可在實驗室中對樣品進行快速加熱和快速冷卻。此款儀器特別適合新一代納米材料和二維晶體材料的探索研究。

  • 產品型號：OTF-1200X-PESDSF-50
  • 廠商性質：代理商
  • 更新時間：2025-02-12
  • 訪  問  量：2418

詳細介紹

品牌其他品牌產地類別國產
應用領域環(huán)保,能源,電子電源AC220，50Hz

    手套箱特點：

    •真空法蘭在手套箱的左邊，與PECVD系統(tǒng)的石英管連接；

    •兩個爐體在一個滑軌上，可通過爐體的滑動達到對樣品快速加熱和快速冷卻的效果!

    加熱爐參數：

    •連續(xù)工作溫度：1100℃

    •兩個爐體都可設置30段升降溫程序

    •高純氧化鋁纖維作為爐膛材料（表面涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率延長爐膛使用壽命）

    •電源：AC220，50Hz   最大功率：3KW

    手套箱參數:

    •帶有除水系統(tǒng)：保持水含量<2ppm

    •真空法蘭在手套箱的左邊，與PECVD系統(tǒng)的石英管連接

    射頻電源：
 

 

image.png 

    真空系統(tǒng)：

    •·采用TRP-12的雙旋真空泵；

    •KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵；

    •真空度可達10-2Torr。

    供氣系統(tǒng)（可選）：

    •客戶可選購四通道質子流量計控制系統(tǒng)實現氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）;

    •流量范圍：

 


image.png 

    •電壓：208-240V，AC，50/60Hz；

    •氣體進出口配件：6mmOD的聚四氟管或不銹鋼管;

    •不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出；

    •PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設置。

    產品尺寸：

    爐體尺寸：1600mm(L)-430mm(W)-500mm(H)

    手套箱尺寸：780mm(L)-700mm(W)-650mm(H)

    質保：

    一年保質期，終身維護，不包括爐管，硅膠密封圈和加熱元件

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