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產(chǎn)品型號：SP200廠商性質(zhì)：代理商更新時間：2024-08-19訪 問 量：1954產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
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詳細(xì)介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工 |
|---|---|---|---|
| 控溫范圍 | 50-150℃ | 溫度均勻性 | ±1% |
| 光刻膠流量 | 0.4-20ml/min | 加熱平臺轉(zhuǎn)速 | 1-30rpm |
| 噴嘴水平移動速度 | ≤200mm/s | 噴嘴水平行程 | ≤300mm |
| 光刻膠霧化直徑 | 30-50μm | 設(shè)備尺寸 | 1000mm(W)*1000mm(D)*1800mm(H) |
噴膠機(jī)
適用于8英寸及以下晶圓的自動噴膠工藝
全封閉結(jié)構(gòu),不銹鋼框架、鏡面不銹鋼面板
高精度旋轉(zhuǎn)加熱平臺,具有晶圓真空吸附及自動頂升功能
供膠系統(tǒng)采用微小流量供液系統(tǒng),流速連續(xù)平穩(wěn),流量精確可調(diào)
高精度超聲波霧化噴嘴,霧化顆粒均勻,超聲波霧化功率可調(diào)
觸摸式人機(jī)交互界面,可實現(xiàn)配方編輯及運(yùn)行狀態(tài)監(jiān)控
產(chǎn)品參數(shù)
控溫范圍：50-150℃
溫度均勻性:±1%
3光刻膠流量:0.4-20ml/min
加熱平臺轉(zhuǎn)速:1-30rpm
噴嘴水平移動速度:≤200mm/s
噴嘴水平行程:≤300mm
光刻膠霧化直徑:30-50μm
設(shè)備尺寸:1000mm(W)*1000mm(D)*1800mm(H)
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