經(jīng)典實驗-薄膜/極片-濺射儀鍍膜-機械泵回油檢測報告

實驗名稱: 濺射儀鍍膜-機械泵回油檢測報告

實驗目的：實驗室分別以機械泵、機械泵加冷阱、愛德華分子泵對濺射腔體進行抽真空并濺射金膜，并且每組做兩個樣品進行對比，檢測三種情況下金膜質(zhì)量。（由客戶反饋科晶實驗室濺射儀做掃描電鏡鍍金效果差，實驗室分別準備了兩組對比試驗與客戶鍍金樣品進行對比，并參考對比結(jié)果進行了兩組探究試驗，詳細內(nèi)容及結(jié)論請參考以下：）

實驗設備：磁控濺射儀VTC-16-SM、機械泵TRP-12、氬氣、金靶、冰塊及冷阱、愛德華分子泵。

對比案例①：

對比結(jié)論：客戶案例形貌清晰，溝壑明顯，能很清楚觀察到樣品腐蝕或拋光的表明形貌；科晶實驗室案例中腐蝕與拋光形貌都比較模糊，難以分辨。

對比案例②：

對比結(jié)論：客戶所做案例球形態(tài)清晰，顆粒與顆粒間分界清晰，實驗室所做三組案例，雖然冷阱（第2組）及干泵（第3組）的效果略比油泵（第1組）效果改善，但是對比客戶的案例仍有很大差距，所以實驗室做了以下對比：三種工況下鍍金金膜質(zhì)量（濺射儀使用機械泵TRP-12、濺射儀使用機械泵TRP-12加冷阱、濺射儀使用愛德華分子泵）：

探究案例①：（科晶實驗室案例）

案例①總結(jié)：三組6個樣品，從每個樣品上雜質(zhì)的總數(shù)量來看，效果：干泵（第3組）效果>油泵+冷阱（第2組）>油泵（第1組），其中第三組單位面積污點數(shù)量最少，膜的平整最好（三組情況金膜顏色不同，為不同濾鏡下觀察，表面形貌表征的金膜顏色與金膜質(zhì)量無關）

探究案例②：（實驗室案例）

案例②總結(jié)：從三組6個樣品中看出，干泵（第3組）效果>油泵+冷阱（第2組）>油泵（第1組），其中第三組單位面積污點數(shù)量最少，由此看出冷阱對鍍膜的效果改善比較的明顯，干泵鍍膜質(zhì)量好。

實驗總結(jié)：結(jié)合案例①結(jié)論、案例②結(jié)論綜合判定，冷阱、干泵方案均可提升鍍膜質(zhì)量，且干泵提升膜質(zhì)量效果最為明顯。