技術文章
高真空蒸發(fā)鍍膜儀可以為薄膜應用和其他材料提供理想的涂層平臺,特別適用于場發(fā)射電子顯微鏡,透射電子顯微鏡和非晶碳熔覆/TEM網(wǎng)格支撐膜的樣品制備。是全自動程序控制,彩色觸摸屏界面,操作簡單,可以鍍金鉑和其他非氧化的貴金屬和其他易氧化膜材料的細顆粒。
高真空蒸發(fā)鍍膜儀是具有靈活性和模塊化可擴展性的多功能系統(tǒng),可以適應不同的樣品制備。它可用于蒸發(fā)蒸籠和坩堝中的碳和金屬,以及可選的濺射附件蒸發(fā)??梢詰靡幌盗行兄行У募夹g,包括碳涂層和TEM涂層,碳/金屬蒸發(fā),使用雙源蒸發(fā)的低角度涂層和順序涂層,以及可選的濺射鍍膜附件可以應用于多種目標。其設計使其操作更容易實現(xiàn)。
1、使用微處理器控制器可以增強系統(tǒng)的靈活性,并且用戶可以輕松添加各種選項。但是,這些“默認"操作已經(jīng)過優(yōu)化,因此可以實現(xiàn)自動和手動操作。
2、*的抽屜式樣品裝載系統(tǒng)便于用戶放入各種樣品,而鉸接式頂蓋結構易于到達系統(tǒng)的其他區(qū)域。
3、渦輪分子泵安裝在系統(tǒng)外部,可以輕松安裝和更換高真空蒸發(fā)鍍膜儀。它的前真空是旋轉真空泵。整個泵送過程是*自動化的,在達到高真空后會蒸發(fā)。該儀器是臺式機,使用中的疏忽易于控制且易于損壞。